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様々な産業用装置の中で、精密位置決め装置に求められている精度は、時代と共に更なる高い精度を要求されています。当社は設計から製作まで、すべて受注対応により、お客様の要求にジャストフィットする精密位置決めステージの製作をいたしております。

■主たる用途

ウェーハ・液晶検査装置・レーザー関連装置・基板関連装置・各種移載装置・精密検査装置・その他

■主な仕様例

X-Yステージ

  • 精度項目  許容値
  • 繰返し位置決め精度(X、Y軸)±1㎛
  • 水平方向真直(X、Y軸)5㎛/1000㎜
  • XY軸直交度5㎛/300㎜
  • テーブル上面の平面度10㎛/□500㎜

X-Y-Zステージ

  • 精度項目  許容値
  • 垂直および水平 X軸30㎛/700㎜
  • 方向真直度   Y軸15㎛/300㎜
  • 垂直度(Z軸)10㎛/50㎜
  • 繰返し位置決め精度(X、Y、Z軸)±1㎛
  • ロストモーション3㎛/300㎜
  • XY軸直 交度10㎛/300㎜

高密度位置決めテーブル

FRS-300

ベースフレームにFCDを採用、薄型で高剛性を実現モーターをステージ内に収容しコンパクトにユニットを重ねることでXYステージとしても利用できます。オプションにより、ジャバラ、リニアスケールも取り付けが可能です。

ストローク 限界ストローク 絶対位置決め精度 繰り返し位置決め精度 運動の平行度
300 310 ±310ミンクロン ±2ミンクロン 10ミンクロン
バックラッシュ ボールねじ ベース長さ テーブル寸法 重量
2ミンクロン 15リード5 720 300×300 70kg

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